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我国又一项半导体核心装备取得突破

2020-07-10 | 编辑:中机教育网 | 来源:中国机械工业联合会机经 | 浏览量:

      半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。

  另外,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上较具有影响力的一种。

  由此可见,半导体较为重要,而半导体的核心装备之前一直依赖于其他国家。经过科研人员不懈努力,我国又一项半导体核心装备取得突破!

  据悉,中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速,性能达国际主流先进水平。这意味着在芯片自主研制的道路上,中国又攻克了一样受制多年的核心装备。目前世界范围内以集成电路领域离子注入机为主要业务的公司只有6家。

  离子注入机是半导体晶圆制造等领域的关键设备之一在半导体晶圆制造中,由于纯净硅的导电性能很差,需要加入少量杂质使其结 构和电导率发生改变,从而变成一种有用的半导体,这个过程称为掺杂。

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